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2018年6月12日,“半导体材料及器件研究与应用进展”主题网络研讨会在仪器信息网“网络讲堂”栏目成功举办。本次会议旨在为全国在半导体及器件领域或有意在本领域从事研发、教学、生产的科技人员提供一个学术与技术交流的平台,以促进我国半导体材料及器件领域的科技创新和产业发展。
半导体材料(semiconductor material)是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。近年来半导体材料迅猛发展,特别是宽禁带化合物半导体在材料生长、器件与电路设计、制造工艺及其应用等方面具有最新进展。
本次会议邀请了来自华进半导体、赛默飞、雷尼绍、HORIBA、牛津、华东师范大学六家机构从事半导体研究及应用的专家学者,对目前科学仪器在半导体应用领域的研究进展进行了介绍了。各项报告内容简介如下:
华进半导体研发部高级工程师刘海燕介绍了数种半导体材料与部件的封装工艺及其各自特点,着重讲解了目前处于前沿领域的扇出型封装工艺,代表的类型有eWLB、INFO POP、大板级。华进半导体目前正在开发晶圆级、大板级扇出封装技术,现已制备出部分样品,并申请了相关专利。此外还补充介绍了Low k芯片封装工艺。华进公司的主要业务包括设计仿真、封装工艺、测试验证、技术转移等领域。